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关于批准发布《硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额》《硅单晶及其硅片单位产品能耗限额》等两项团体标准的公告
更新时间：2023-06-01 18:02:00
根据《浙江省半导体行业协会团体标准管理办法》及相关文件要求，经评审专家审核通过，现批准发布《硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额》《硅单晶及其硅片单位产品能耗限额》等两项团体标准，标准号依次为T/ZJBDT 003-2023、T/ZJBDT 004-2023。该两项标准于2023年5月24日发布，自2023年5月24日起实施。
现予以公告。
附件1：《硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额》团体标准
附件2：《硅单晶及其硅片单位产品能耗限额》团体标准
浙江省半导体行业协会
2023年5月24日
关于批准发布《硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额》《硅单晶及其硅片单位产品能耗限额》等两项团体标准的公告.pdf
附件1：《硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额》团体标准.pdf
