关于批准发布《集成电路晶圆/晶粒小微缺陷测试方法》 团体标准的公告
更新时间：2026-08-24 11:38:13
根据《浙江省半导体行业协会团体标准管理办法》及相关文件要求，经评审专家审核通过，现批准发布《集成电路晶圆/晶粒小微缺陷测试方法》团体标准，标准号为T/ZJBDT 012-2026。该项标准于2026年8月24日发布，自2026年8月24日起实施。
现予以公告。
附件：《集成电路晶圆/晶粒小微缺陷测试方法》团体标准
浙江省半导体行业协会
2026年8月24日
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